短時定位

采用高響應性步進電動機αSTEP。
發揮αSTEP的最大性能，實現了短時定位。

高可搬質量

可進行高速、高可搬質量的定位工作。

●最大可搬運質量：
水平搬運時 60 kg 垂直搬運時 30 kg EZS6（導程6mm時）
●最高速度：
800 mm/s EZS3、EZS4、EZS6 （導程12mm時，單相100-115V / 200-230V輸入）

節省空間

修改電動機電纜線的出口形狀后，不再存在死區。
縮短了沖程部分的長度，使滑臺全長更為縮短，實現了裝置的節省空間設計。

使用簡便

防止磨損

采用滾筒構造，可避免不銹鋼板的磨損。
根據滾筒的構造，也可以抑止不銹鋼板與工作臺之間因滑動摩擦產生的粉塵。

高速無傳感器原點返回 最大100mm/s

使用新開發的專用擋塊，無傳感器原點返回最高可達100mm/s。
當電動機感應出工作臺觸及擋塊時，會以6mm/s之速度進行原點返回。

滑動平行度0.03mm

采用在安裝面上直接安裝導軌的構造，實現了0.03mm的滑動平行度。

減少振動功能

新開發的控制方式可實現在振動較大的速度領域內的低振動化。

即使長期使用也不需要維護

滾珠螺桿采用潤滑裝置QZ，且LM導軌部分采用連接轉動保持器BallRetainer。
滾珠螺桿與LM導軌部分采用使用于無塵室中發塵量少的AFF潤滑油。

容易配線

可使用一條電纜線連接滑臺和控制器，最長可延伸至20m✽。
此外，采用考慮了配線工作的連接器。

✽DC24V輸入時最長可達10m